Ein Ionisations-Vakuummeter ist ein Druckmessgerät zur Druckbestimmung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich, also etwa 10−3 mbar (0,1 Pa) bis 10−12 mbar (0,1 nPa). Das Prinzip basiert auf einer indirekten Druckmessung mittels Ionisation der Gasatoms bzw. -Moleküle; der Ionenstrom ist zur Teilchenzahldichte proportional.
Die Druckanzeige aller Ionisationsvakuummeter ist von der Gasart abhängig; bei Gasen mit geringem Wirkungsquerschnitt für Elektronenstoß-Ionisation wie He wird ein zu niedriger Druck angezeigt, bei Gasen mit großem Wirkungsquerschnitt für Ionisation (große organische Moleküle) wird ein zu hoher Druck angezeigt. Die Kalibrierung erfolgt normalerweise so, dass für Stickstoff (N2) der richtige Druck angezeigt wird.
Für die Ionisation des Restgases gibt es unterschiedliche Umsetzungsmöglichkeiten:
- Kaltkathoden-Ionisationsvakuummeter
- Glühkathoden-Ionisationsvakuummeter