Back فحص مجهري بالمسبار الماسح Arabic Köçürən zond mikroskopu Azerbaijani অভিবীক্ষণ শলাকা অণুবীক্ষণবিজ্ঞান Bengali/Bangla Mikroskopija skenirajućom sondom BS Scanning-sondemikroskopi Danish Rastersondenmikroskopie German Scanning probe microscopy English Microscopio de sonda de barrido Spanish میکروسکوپ پراب پویشی Persian Microscopie à sonde locale French
Skaneeriv teravikmikroskoopia (inglise keeles scanning probe microscopy, edaspidi SPM) on mikroskoopia liik, kus proovi kolmedimensiooniline pinnakujutis saadakse teravatipulise mehaanilise sondi abil. SPM perekonnale pani aluse skaneeriv tunnelmikroskoobi leiutamine 1981. aastal.[1] Gerd Binnig ja Heinrich Rohrer said sellesuunalise töö eest 1986. aastal Nobeli auhinna füüsikas.[2] Skaneeriva tunnelmikroskoobi leiutamine viis kiirelt ka mitme teise teravikmikroskoobi, nt aatomjõu mikroskoobi väljatöötamiseni. Tänapäeval kuulub sinna terve hulk tehnikaid, nendest kõige olulisemad on: aatomjõumikroskoopia (edaspidi AFM), skaneeriv tunnelmikroskoopia (edaspidi STM) ja optiline lähivälja mikroskoopia (SONM).