Back كهروميكانيكا الصغائر Arabic Sistema nanoelectromecànic Catalan Nanoelektromechanisches System German Νανοηλεκτρομηχανικά συστήματα Greek NEMS EML Nanoelectromechanical systems English سامانه نانو الکترومکانیکی Persian Nanosystème électromécanique French NEMS Italian NEMS Japanese
מערכות ננואלקטרומכניות (Nanoelectromechanical System – NEMS) הם התקנים המיוצרים על גבי שבבים הכוללים מעגלים משולבים יחד עם מכלולים מכניים בקני מידה ננומטרי. NEMS מהווה את הצעד הבא במזעור מערכות מיקרואלקטרומכניות –MEMS. ב-NEMS משולבים התקני ננואלקטרוניקה כמו טרנזיסטורים יחד עם מפעילים מכניים כגון משאבות או ננו-מנועים, ננופלואידיקה ועוד ובכך מאפשרים ייצור של חיישנים פיזיקליים, ביולוגיים וכימיים. השם NEMS מעיד על הממדים הננומטריים של ההתקן הבסיסי, אשר מאפייניו הם: מסה נמוכה, תדר תהודה מכני גבוה, פוטנציאל גבוה של אפקטים קוונטיים כמו אנרגיית נקודת האפס, ושימוש גבוה ביחס של שטח לנפח עבור חיישנים מבוססי פני שטח.