Mikroskopi prob pemindai

Mikroskopi prob pemindai (Scanning probe microscopy, SPM) adalah sebuah cabang dari mikroskopi yang menghasilkan gambar permukaan suatu objek dengan menggunakan sebuah prob fisik yang memindai spesimen. SPM dicetus pada 1981, dengan penemuan mikroskop penerowongan payaran, yaitu sebuah alat untuk mencitrakan permukaan dalam skala atom. Eksperimen pertama yang berhasil dengan menggunakan mikroskop penerowongan payaran dilaksanakan oleh Gerd Binnig dan Heinrich Rohrer. Kunci kesuksesan mereka adalah menggunakan sebuah umpan balik untuk meregulasi jarak antara sampel dan prob.^[1]

1. ^ Salapaka SM, Salapaka MV (2008). "Scanning Probe Microscopy". IEEE Control Systems Magazine. 28 (2): 65–83. doi:10.1109/MCS.2007.914688. ISSN 0272-1708.  Parameter |s2cid= yang tidak diketahui akan diabaikan (bantuan)