La definizione di sistemi nanoelettromeccanici o NEMS (dall'ing. nanoelectromechanical systems) viene usata per descrivere i dispositivi che integrano funzionalità elettroniche e meccaniche nell'ambito della nanoscala. I NEMS segnano la successiva fase logica di miniaturizzazione dei cosiddetti sistemi microelettromeccanici, o dispositivi MEMS, i quali in genere integrano la nanoelettronica a simil-transistor agli attuatori meccanici, pompe o motori, e in può in tal modo formare sensosi fisici, biologici e chimici. Il nome deriva dalle dimensioni tipiche del dispositivo nel campo del nanometro, che conduce ad avere una massa bassa, alte frequenze di risonanza meccanica, effetti meccanici quantistici potenzialmente elevati come il moto puntiforme zero, e un alto rapporto superficie/volume utile per i meccanismi di rilevamento della superficie. [1] Gli usi comprendono gli accelerometri o i rivelatori di sostanze chimiche disperse nell'aria.